产品详情
赛德凯斯 KW-4E-II控温型匀胶机在微纳光刻工艺中具有重要应用价值，通过集成控温型旋涂匀胶系统与显影模块，有效提升光刻胶成膜均匀性与工艺重复性。设备支持精准参数调节，满足高一致性光刻涂胶显影工艺需求，适用于半导体器件制备、MEMS微加工研究及高校科研实验平台。品牌在系统集成与稳定性设计方面成熟，展现出科研级涂胶显影设备优势。
产品特点：
一、吸附力可调，防进胶，开盖保护
实时显示真空吸附力，实时报警吸附力不足，配套显影系统
二、防飞片保护与报警，配方掉电保护
机器智能化，操作傻瓜化，方便使用，保证产品质量
| 参数名称 | 规格说明 |
| 支持基片尺寸 | 5-200mm/5-600mm(选配) |
| 可调速范围 | 10-12000RPM/10-20000RPM(选配) |
| 可调加速度 | 10-30000RPM/S |
| 转速精度 | ±1RPM |
| 转速稳定度 | ±1RPM |
| 温控范围 | 室温-200℃ |
| 胶的均匀性 | ±1% |
| 加热速度 | 至100℃(1S)、至200℃(2S) |
| 冷却速度 | 至室温(2S) |
| 操作界面 | 8寸触摸屏 |
| 可用通信接口 | USB(标配)/RS485(4E-I及以上标配)/蓝牙(选配) |
| 触控笔 | BAMBOO电阻笔(标配) |
| 真空泵 | SC-550V无油泵 |
| 设置数据 | 无限组数据，每组15段转速(标配)或无数段转速(选配) |
| 每段时间 | 0-10000秒 |
| 存储数据 | 无限组数据 |
| 数据保护 | 默认带掉电保护功能 |
| 匀胶机供电口 | AC100-250V |
| 真空泵供电口 | AC220V(标配) AC110V(选配) |
| 真空泵抽速 | ≥60L/MIN |
| 匀胶机功率 | 650W |
| 真空泵功率 | 350W |
| 匀胶机体积 | 340mm(W)X500mm(D)X250mm(H) |
| 匀胶机重量 | 18kg |
| 泵重量 | 9kg |
| 腔室材质 | 整体PTFE聚四氟材质 |
| 相对湿度 | < 85% |
| 环境温度 | 0-40℃ |
| 质保期 | 1年 |
小瑞 Reico
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