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赛德凯斯 KW-4C-I型匀胶机在光刻实验中具有良好的应用价值,可实现均匀稳定的涂胶与显影处理。其集成式旋涂匀胶系统支持多参数调节,满足不同光刻胶工艺需求,提高实验重复性与成膜一致性。设备适用于基础光刻涂胶显影工艺、微纳加工科研实验及高校教学实验平台。品牌注重系统实用性与可靠性,体现出科研级涂胶显影设备性能优势。

产品特点:

一、吸附力可调,防进胶,开盖保护

实时显示真空吸附力,实时报警吸附力不足,配套显影系统

二、防飞片保护与报警,配方掉电保护

机器智能化,操作傻瓜化,方便使用,保证产品质量

参数名称规格说明
支持基片尺寸5-150mm
吸附力可调支持
开盖保护支持
速度范围20-12000RPM
转速精度±1RPM
转速稳定度±1RPM
加速度范围10-10000RPM/S
胶的均匀性±1%
人机界面4.3寸彩色触摸屏
触控笔BAMBOO电阻笔(标配)
真空泵SC-550V无油泵
设置数据存储无限组数据,每组10段转速(标配)
每段时间0-10000秒
存储数据无限组数据
数据保护默认带掉电保护功能
匀胶机供电口AC100-250V
真空泵供电口AC220V(标配) AC110V(选配)
真空泵抽速≥60L/MIN
匀胶机功率200W
真空泵功率350W
匀胶机体积210mm(W)X220mm(D)X160mm(H)
匀胶机重量10kg
泵重量9kg
相对湿度< 85%
环境温度0-40℃
质保期1年


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