产品详情
赛德凯斯 KW-4C-I型匀胶机在光刻实验中具有良好的应用价值,可实现均匀稳定的涂胶与显影处理。其集成式旋涂匀胶系统支持多参数调节,满足不同光刻胶工艺需求,提高实验重复性与成膜一致性。设备适用于基础光刻涂胶显影工艺、微纳加工科研实验及高校教学实验平台。品牌注重系统实用性与可靠性,体现出科研级涂胶显影设备性能优势。
产品特点:
一、吸附力可调,防进胶,开盖保护
实时显示真空吸附力,实时报警吸附力不足,配套显影系统
二、防飞片保护与报警,配方掉电保护
机器智能化,操作傻瓜化,方便使用,保证产品质量
| 参数名称 | 规格说明 |
| 支持基片尺寸 | 5-150mm |
| 吸附力可调 | 支持 |
| 开盖保护 | 支持 |
| 速度范围 | 20-12000RPM |
| 转速精度 | ±1RPM |
| 转速稳定度 | ±1RPM |
| 加速度范围 | 10-10000RPM/S |
| 胶的均匀性 | ±1% |
| 人机界面 | 4.3寸彩色触摸屏 |
| 触控笔 | BAMBOO电阻笔(标配) |
| 真空泵 | SC-550V无油泵 |
| 设置数据 | 存储无限组数据,每组10段转速(标配) |
| 每段时间 | 0-10000秒 |
| 存储数据 | 无限组数据 |
| 数据保护 | 默认带掉电保护功能 |
| 匀胶机供电口 | AC100-250V |
| 真空泵供电口 | AC220V(标配) AC110V(选配) |
| 真空泵抽速 | ≥60L/MIN |
| 匀胶机功率 | 200W |
| 真空泵功率 | 350W |
| 匀胶机体积 | 210mm(W)X220mm(D)X160mm(H) |
| 匀胶机重量 | 10kg |
| 泵重量 | 9kg |
| 相对湿度 | < 85% |
| 环境温度 | 0-40℃ |
| 质保期 | 1年 |
小瑞 Reico
欢迎访问海瑞克斯仪器~