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赛德凯斯 KW-4BC-I型匀胶机在光刻工艺实验中具备良好的应用价值,通过集成式匀胶显影系统实现涂胶与显影流程的高效衔接,提升实验效率与一致性。设备支持多参数调节,满足光刻胶涂胶显影工艺对稳定性与重复性的要求,适用于微纳加工科研实验、半导体基础研究及高校教学实验平台。品牌注重系统结构可靠性,体现出科研级涂胶显影设备性能优势。

产品特点:

一、配备防进胶模组

有效解决旋涂中进胶问题,延长电机使用寿命

二、可选配一次性锅内衬

方便旋涂完毕后,清理废液

参数名称规格说明
兼容基片尺寸5-120mm硅片及其他材料
吸附力可调,实时显示
速度范围50-10000RPM
转速精度±1RPM
转速稳定度±1RPM
加速度范围10-10000RPM/S
胶的均匀性±1%
人机界面4.3寸彩色触摸屏
触控笔BAMBOO电阻笔(标配)
真空泵SC-550V无油泵
设置数据存储无限组数据,每组10段转速(标配)
每段时间0-10000秒
存储数据无限组数据
数据保护默认带掉电保护功能
匀胶机供电口AC100-250V
真空泵供电口AC220V(标配) AC110V(选配)
真空泵抽速≥60L/MIN
匀胶机功率200W
真空泵功率350W
匀胶机体积210mm(W)X220mm(D)X160mm(H)
匀胶机重量10kg
泵重量9kg
相对湿度< 85%
环境温度0-40℃
质保期1年


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