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国仪量子 SEM4000X 在高精度微观表征领域具备突出的应用价值,可实现纳米级结构的清晰成像与稳定分析。其高分辨场发射扫描电子显微系统结合优化电子光学设计,有效提升成像分辨率与对比度,满足纳米材料微观结构表征与半导体器件工艺分析等高要求应用。设备适用于先进功能材料研究、芯片制造质量分析及科研院所高端实验平台。品牌依托自主核心技术,体现出国产高端扫描电镜性能与稳定性优势。

产品特点:

1.SEM4000X是一款稳定通用,灵活高效的场发射扫描电镜。

2.分辨率可达1.9nm @1.0kV,轻松应对各种类型样品的高分辨拍样挑战,可升级超级减速模式,进一步提升低压分辨率。

3.同时采用了多探测器技术,镜筒内电子探测器(UD)可探测SE和BSE信号,同时具有高分辨率性能。

4.仓内电子探测器(LD)采用了晶体闪烁体和光电倍增管,具备更高的灵敏度和高效性,图像具有很好的立体感。

5.中文操作软件,简单易用,丰富的自动化功能,如自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散、自动对中等等,可快速获取高分辨图像。

参数名称规格说明
分辨率

0.9 nm@30 kV, SE

1.0 nm@15 kV, SE

1.8 nm@1 kV, SE

1.5 nm@1 kV(超级减速)

0.8 nm@15 kV(超级减速)

放大倍率1 x~1000,000 x
加速电压200V~30 kV
电子枪类型肖特基场发射电子枪
摄像头双摄像头(光学导航+样品仓内监控)
样品台行程XY=110 mm,Z=65mm
样品台配置五轴真空电机驱动
T行程-10° ~+70°
R行程360°
探测器

镜筒内电子探测器 仓室内电子探测器

操作软件Windows操作系统,中文SEM软件
导航光学导航、手势快捷导航、轨迹球(选配)
自动功能自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散


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