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国仪量子 SEM4000Pro 在微观结构分析领域具有显著应用价值,可满足科研与工程分析对成像清晰度和稳定性的高要求。其场发射扫描电子显微系统结合优化电子光学设计,实现高分辨率与高对比度成像,适用于材料微观形貌表征、纳米结构分析及半导体器件检测。设备可广泛应用于先进材料研究、工艺质量分析及科研院所实验平台。品牌依托自主核心技术,体现出国产高端扫描电镜可靠性能优势。

产品特点:

1.配备高亮度、长寿命的肖特基热场发射电子枪

2.分辨率高,30 kV 下优于 0.9 nm 的极限分辨率

3.三级磁透镜设计,束流可调范围大,最大支持 400 nA 的分析束流

4.无漏磁物镜设计,可直接观察磁性样品

5.标配低真空模式,以及高性能的低真空二次电子探测器和插入式背散射电子探测器

6.标配的光学导航模式,中文操作软件,让分析工作更轻松

7.自动矿物分析软件,最小矿物识别精度≤1μm,大于4000种矿物数据库

参数名称规格说明
分辨率

0.9 nm @ 30 kV,SE

2.5 nm @ 30 kV,BSE,30 Pa

1.5 nm @ 30 kV, SE,  30 Pa

放大倍率1 x~1000,000 x
加速电压200 V ~ 30 kV(35kV可选)
电子枪类型肖特基场发射电子枪
低真空模式最大180 Pa
摄像头双摄像头(光学导航+样品仓内监控)
样品台行程XY=110 mm,Z=65mm
样品台配置五轴真空电机驱动
T行程-10° ~+70°
R行程360°
探测器


仓室内电子探测器(ETD)

低真空二次电子探测器(LVD)

插入式背散射电子探测器

操作软件Windows操作系统,中文SEM软件
导航光学导航、手势快捷导航、轨迹球(选配)
自动功能自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散


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小瑞 Reico