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中科科仪 KYKY-EM8200在高端微观表征领域具有突出的科研应用价值,可实现亚纳米级结构的高分辨成像。其超高分辨场发射扫描电子显微系统结合先进电子光学设计,有效提升成像清晰度与稳定性,满足纳米材料微观结构分析与半导体器件精细表征等高端需求。设备适用于先进功能材料研究、芯片制造工艺分析及科研院所高端实验平台。品牌依托深厚技术积累,体现出国产高端扫描电镜技术与性能优势。

产品特点:

1.新一代低像差物镜、减速样品台、低压高分辨成像

2.低噪声Inlens探测器

3.自动推入式背散射探测器

4.全新的用户界面设计

5.丰富的软件测量功能

参数名称格说明
分辨率SE 0.8nm@15kV、1.5nm@1kV
电子枪Schottky 肖特基场发射电子枪
探测器配置高真空二次电子探测器、半导体四分割背散射探测器、红外CCD摄像头、Inlens探测器
放大倍数1x-3000000x;光学放大 1x-100x
加速电压0.2kV-30kV
样品台五轴自动大样品台
电子光学镜筒部分1000×1000×1730(mm)
电器柜控制部分1330×850×740(mm)


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