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Edwards E2M275 油封式旋片真空泵在中大型真空系统中具有重要应用价值,可稳定提供高效真空支持。其油封式旋片真空泵核心结构成熟可靠,具备优异的密封性能与耐久性,适合长时间连续运行。设备广泛应用于真空镀膜系统、真空干燥与脱气工艺及科研与工业真空装置。依托Edwards品牌深厚技术积累,产品体现出高可靠性工业级真空解决方案优势。

产品特点:

1.滚轴泵利用相互交错的固定和轨道滚轴来产生非接触式新月形气泡,并通过轨道运行不断对其进行压缩。这意味着,与油密封旋转泵不同,在泵移动量中不需要密封剂或润滑剂

2.真空外壳中不需要使用润滑剂,完全密封可保证彻底的清洁和干燥真空,防止交叉污染

3.无大气压到真空的轴封可使轴承完全隔离,从而阻止制程攻击,轴承也能以更低温度运行,使用时间更长

4.无需更换润滑油,也就消除了处置被污染的润滑油所需的费用

5.简单的单侧滚轴设计意味着维护工作可在数分钟内完成,降低运行成本,尽可能延长正常运行时间

6.变换器驱动可使抽速稳定维持在 50/60Hz

水参数名称规格说明
排量50Hz/60Hz;95 m3h-1/56 ft3min-1    
极限真空(总压力)*<1 x 10-2 mbar / <8 x 10-3 Torr
最大连续进气口压力20 mbar/15 Torr
最大连续出口压力60 mbar / 45 Torr
入口连接NW40法兰
出口连接NW40法兰
短时内进气口处的最大允许压力0.5 bar 表压/7 psig
要从大气抽空的最大真空腔体积100 升
用于循环负载的最大真空腔体积 – 最大为每小时 650 升
电机功率0.52 kW
标称转速1750 rpm
重量48 kg/105 lb
噪音(dB)52.1 dB(A)
振动<4.5mms -1 (rms)
密封性(静态)<1 x 10-6 mbar ls-1
工作温度范围10 至 40 °C/50 至 104 °F


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