产品详情
Edwards E2M275 油封式旋片真空泵在中大型真空系统中具有重要应用价值,可稳定提供高效真空支持。其油封式旋片真空泵核心结构成熟可靠,具备优异的密封性能与耐久性,适合长时间连续运行。设备广泛应用于真空镀膜系统、真空干燥与脱气工艺及科研与工业真空装置。依托Edwards品牌深厚技术积累,产品体现出高可靠性工业级真空解决方案优势。
产品特点:
1.滚轴泵利用相互交错的固定和轨道滚轴来产生非接触式新月形气泡,并通过轨道运行不断对其进行压缩。这意味着,与油密封旋转泵不同,在泵移动量中不需要密封剂或润滑剂
2.真空外壳中不需要使用润滑剂,完全密封可保证彻底的清洁和干燥真空,防止交叉污染
3.无大气压到真空的轴封可使轴承完全隔离,从而阻止制程攻击,轴承也能以更低温度运行,使用时间更长
4.无需更换润滑油,也就消除了处置被污染的润滑油所需的费用
5.简单的单侧滚轴设计意味着维护工作可在数分钟内完成,降低运行成本,尽可能延长正常运行时间
6.变换器驱动可使抽速稳定维持在 50/60Hz
| 水参数名称 | 规格说明 |
| 排量 | 50Hz/60Hz;95 m3h-1/56 ft3min-1 |
| 极限真空(总压力)* | <1 x 10-2 mbar / <8 x 10-3 Torr |
| 最大连续进气口压力 | 20 mbar/15 Torr |
| 最大连续出口压力 | 60 mbar / 45 Torr |
| 入口连接 | NW40法兰 |
| 出口连接 | NW40法兰 |
| 短时内进气口处的最大允许压力 | 0.5 bar 表压/7 psig |
| 要从大气抽空的最大真空腔体积 | 100 升 |
| 用于循环负载的最大真空腔体积 – 最大为每小时 6 | 50 升 |
| 电机功率 | 0.52 kW |
| 标称转速 | 1750 rpm |
| 重量 | 48 kg/105 lb |
| 噪音(dB) | 52.1 dB(A) |
| 振动 | <4.5mms -1 (rms) |
| 密封性(静态) | <1 x 10-6 mbar ls-1 |
| 工作温度范围 | 10 至 40 °C/50 至 104 °F |
小瑞 Reico
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