Edwards EH 500 罗茨泵在中高真空获得过程中具有重要应用价值，可有效缩短系统抽空时间并提升整体真空性能。其高抽速罗茨真空泵增压结构设计配合精密转子与稳定传动系统，确保在高负载工况下持续可靠运行。设备适用于真空镀膜系统、真空炉与热处理工艺、科研级真空装置及各类工业真空流程。依托Edwards深厚的真空技术积累，产品体现出高可靠性工业级真空增压解决方案优势。

产品特点：

1.适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。

2.它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

3.EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：安静的无振动运行。牢靠且防腐蚀。

4.先进的轴封技术，处理舱中不会出现油污染

5.防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。

6.经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到最低。

7.轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

8.动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。